Water Vapor Cryo Chiller

真空装置用クライオ冷凍機

クライオポンプとは？

XIEYI水分吸着クライオチラー（極低温装置）は、低温吸着の原理を利用し、真空チャンバー内のコールドトラップ表面に残留する水蒸気の95％を効果的に凝縮・回収できるため、システムは迅速に必要な真空度を得ることが可能となります。

多様な用途で活用可能であり、1日あたりの生産量増加を通じて製品品質と加工速度を向上させます。適用産業は薄膜、半導体、自動車、医療、光学、食品飲料、航空宇宙、防衛等、幅広い分野で使用されています。具体的な応用例としては、自動車用ヘッドライト、食品包装、光学レンズの製造などが挙げられます。

コールドトラップコイル

コールドトラップコイルは水蒸気を吸着する直接的な主要部品です。真空チャンバー内に設置され、コイル表面の超低温により配管表面の水蒸気を吸収します。コイル形状はご要望に応じて任意のカスタマイズが可能です。

当社にて専用設計・製作をいたします。

コールドブリッジ

コールドブリッジは主に、極低温配管を真空チャンバーに導入するための真空遮断・断熱装置です。配管接続にはパーカーCPIまたはスウェージロックVCRコネクタを採用し、コールドブリッジには1インチと2インチの2規格があります。 1インチキャビティの開口径は27mm、2インチキャビティの開口径は52mmとする。冷熱ブリッジは設計された穴径に応じてカスタマイズ可能。

冷凍用接続パイプ

標準接続配管の長さは2.44メートル、断熱管の外径は92mmであり、断熱管の損傷防止のためナイロン保護編組管が被覆されている。接続管の両端はCPIまたはVCR継手でコールドトラップとトラッピングポンプに接続される。

コールドトラップの入口・出口を測定するためのT型熱電対センサーの設置はオプションである。

特徴

モデル別 技術仕様

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