真空蒸着装置
自動真空蒸着装置
オーバーホール
改造、改善
イオンプレーティング取付
中古設備
治具、真空部品の製作
移設
RF電源、マッチングボックス
フロンガス改修業務
蒸着用フィラメント
各種装着部品
パソコン制御により全自動システムの条件設定をより簡単に構築します。(オプション)
パソコン設定により、999アイテムが条件登録でき、多品種業務にも対応。(オプション)
お客様の設置場所に合わせた最適、高効率設計を提案します。
チャンバーサイズはお客様の要望に合わせ全て設計しています。
スパッタ装置の製作も致します。もちろんプラズマ重合付タイプも可能です。
従来は蒸着後、塗装によりトップコートしていましたが、今後は代わりにプラズマ重合処理により、 不良率の低減、塗料費用の削減、人員の削減につながり、コストダウンの改善に役立ちます。
型番
仕様
蒸着方法
チャンバーサイズ
プラズマ重合機能
CKU-1500A
プラズマ重合付蒸着装置
抵抗加熱法
Φ1500×1800H
有
CKU-1500
真空蒸着装置
抵抗加熱法
Φ1500×1800H
無
CKU-1500AS
プラズマ重合付スパッタ装置
スパッタ法
Φ1500×1800H
有
CKU-1500S
スパッタ装置
スパッタ法
Φ1500×1800H
無
チャンバーサイズ、排気能力を十分に配慮した設計により、最高の膜と不良率の低減を目指します。
お客様のご予算に応じ、部分的に中古部品を使用する等により、コストを抑えたご提案にも対応致します。
納入後のアフターフォローも迅速に対応。常にベストな量産体制をフォロー致します。
設計段階にてお客様の要望を十分に取り入れ、使い易い装置を作り上げます。
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